由于有机污染物的种类繁多，用总有机碳(TOC， Total Organic Carbon)作为评估酸质量的参数不失为测量样品杂质的有效方法。但是，分析仪器必须具有酸基体的化学耐受性，并能在低pH值下有效氧化有机碳，这样才能得到正确的测量结果。

Sievers InnovOx ES实验室型TOC分析仪采用超临界水氧化(SCWO，Supercritical Water Oxidation)技术来测量酸溶液中的TOC的ppm和ppb含量。事实证明，SCWO技术能够对磷酸、盐酸、硝酸、硫酸进行精准的TOC定量分析。

Sievers InnovOx 实验室型分析仪采用SCWO技术，将有机碳分子氧化成CO₂，然后用非分散红外(NDIR，Non-dispersive Infrared)检测技术进行精确定量。在使用SCWO技术时，先在水的临界点以上对样品进行加热和加压。在一定条件下(375 ̊C和220巴)，水成为超临界流体，水中的有机物高度可溶，而无机盐不溶。这就提高了氧化效率，能够精确测量腐蚀性和复杂基质中的TOC，甚至浓酸中的TOC。

硫酸中含有来自其自身生产过程的各种杂质，包括有机污染物。这些污染物即使含量极低，也会给要求使用高纯度原料的工艺带来风险，尤其是给半导体和电化学沉积工艺带来风险。因此，为了优化工艺操作、提供产量，必须对酸的质量进行定量分析。

在测试中，向H₂SO₄中加入不同浓度的邻苯二甲酸氢钾(KHP)，以此来评估 Sievers InnovOx实验室型分析仪的分析硫酸中TOC的能力。将 96%浓度的ACS 级硫酸稀释到24%，然后分别加入0.2、0.5和2ppm TOC的KHP，进而证明了分析仪的分析能力。

分析在0-100ppm范围内进行，由于样品的pH值适用于TOC分析，故无需使用酸剂。10%过硫酸钠氧化剂足以分析此范围的TOC。

表1中的分析数据包括加标浓度、测自空白24%硫酸溶液的TOC、实测TOC、以及回收TOC的含量和百分比。回收的TOC值等于实测TOC减去空白TOC。

表中的数据证明了分析仪能够定量分析浓酸溶液中的低浓度TOC。当TOC从2 ppm降至0.2 ppm时，回收率百分比就会从100%偏离，这主要是因为加标浓度(200 ppb)接近空白浓度(180 ppb)。在这种低浓度下，空白浓度或仪器基线的波动会导致结果的波动。

第二项测试分析了各种浓度硫酸的TOC回收率。将1ppm TOC的KHP分别加到1、5、10和24%的H₂SO₄中，测量数据如表2所示。回收的TOC值等于实测 TOC减去空白TOC。

5 - 24%H₂SO₄的1 ppm TOC回收率非常好， 但1%H₂SO₄的TOC回收率就偏离了45%。 当TOC浓度接近空白TOC浓度时，空白测量值的波动会显著影响到计算的TOC结果。

测试还评估了Sievers InnovOx实验室型分析仪分析24% ACS级硫酸中0.1 - 0.5 ppm范围TOC的能力。分别将100、200、300 ppb KHP加到ACS级硫酸中，测量结果如表3所示。

测量结果显示了预期的增长趋势。100 ppb加标显示了50 ppb的增长，200 ppb加标显示了120 ppb的增长，300 ppb加标显示了230 ppb的增长。显然，分析仪能够检测出410 ppb基线上的50 ppb的增长，这表明分析仪的灵敏度完全适用于分析如此低的浓度。对硫酸进行高灵敏度分析的限制因素是基体中的基线TOC。同任何其它分析一样，基线值附近的结果容易变化。人们都知道，H₂SO₄的纯度低于同样浓度的其它无机酸(如HCl、HNO3等)的纯度，因此不难预料，纯品H₂SO₄中含有一定量的有机杂质。

Sievers InnovOx实验室型分析仪能够精准地测量出浓度最高为24%的硫酸中的TOC。 最高2 ppm KHP的实测回收率具有出色的精确性和准确性。空白测量值的大小和稳定性是对H₂SO₄进行高灵敏度TOC分析的限制因素。分析仪的灵敏度(检测限LOD=水中的50 ppb)足以区分100、200和300 ppb TOC。分析仪在整个测试过程中表现出极佳的耐用性，且能耐受H₂SO₄基质，无降解迹象。