[value:title] 前沿动态

气相法生长碳化硅晶体

最常用作半导体材料的碳化硅晶体是4H-SiC。但是,碳化硅晶体具有多型(3C/4H/6H,带你认清碳化硅单晶的多型),生长晶体的过程中,条件一旦控制不好,得到的结构就不是4H了,而可能是3C、6H、1 ...
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